発塵調査について

ムーンリフタ（MLT-240K）

パーティクルカウンタ：KC-01D(リオン)
分銅（20 kg）

弊社クリーンルーム内にMLT-240Kを吊るし、20 kg分銅をセット。
パーティクルカウンタのホースを最も発塵が多いであろうMLT-240K本体の30 cm下にセットし、分銅を繰り返し昇降させた際の2.83 L当たりの0.5 μmパーティクルの量を測定。
トータル測定時間は動作中1時間、停止中1時間の計2時間。
1回の測定間隔は5分30秒。

各測定値の10倍が1 Cf（28.3 L）相当となるため、実測値×10の値でグラフを記載したムーンリフタ非動作時は最大30カウントであったが、ムーンリフタ動作後は最大190だった数値は常時大きいわけではなく10～40と低い値も多くみられた。
1 Cfあたりの0.5 umのパーティクルが1000個以下でクラス1000なので、この調査ではクラス1000の条件を満たしている。

導入実績

ムーンリフタ（標準タイプ）を二重構造にしてクリーンルーム外に排気する仕様で納品
株式会社 A社（半導体関係）　クラス：1000

ムーンリフタ（HACCPタイプ）＋ジャバラ仕様にて納品
株式会社 B社（精密機器関係）　クラス：10000

ムーンリフタ（防塵タイプ）をお客様から評価をいただいた上で選定
株式会社 C社

ムーンリフタ（防塵・全天候型タイプ）をお客様から評価をいただいた上で選定
大洋産業 様（食品充填作業場） 他 D社、F社にて採用